20 世纪90 时代以来靶材已蓬勃发展成为一个专业化工业，中国及亚太地区靶材的需求占有国际70%以上的商场份额。现在高端质量靶材首要由:日本、德国和美国生产，我国溅射靶材工业起步较晚，在产质量量与精密标准上与国外有不少的距离，国内也有许多大学及研究机构对靶材活跃投入了大量研究与开发，通过这几年的发展也出现了一批在靶材职业优秀的公司和院校。
1 靶材使用职业分类
1.1 装修、工模具镀膜职业靶材铬靶(Cr)，平面铬靶，喷涂铬管;铬硅靶90/10Wt%,50/50at%,25/75at%(电弧，平面靶，旋转管靶);钛铝靶50/50at%,70Ti/30at%,67AL/33at%(电弧，平面靶，旋转管靶);钛铝硅靶1:1:1at%,1:2:1at%(电弧，平面靶，旋转管靶);钛靶，钛管靶，锆靶;金靶，玫瑰金靶;石墨靶，镍靶，铝靶，不锈钢靶等。
1.2 太阳能光伏光热职业靶材
氧化锌铝靶ZAO; 硅靶;钛靶、氧化钛靶;铝靶;铬靶、镍铬;锌铝、钨、钼靶等。
1.3 建筑汽车玻璃大面积镀膜
硅铝靶、旋转硅铝靶;氧化钛靶;锡靶;铬靶;硅靶;钛靶、不锈钢靶。
1.4 平面显示职业
ITO 靶;二氧化硅靶;高纯硅靶5-7N;高纯铬靶3N5;TFT 钼靶;钼铌靶;钨钛靶90/10wt%;高纯铝靶等。
1.5 光学，光通信，光存储职业
银靶;钽靶;硫化锌靶;高纯铝靶;硅靶。
2 常用靶形
常用靶形有电弧靶、平面靶、旋转管靶。
2.1 平面靶材利用率提高方式
(1)改动磁铁运动方向
(2)改动磁力线散布宽度和高度
2.2 靶材功能与要求
靶材质量直接影响着薄膜的物理、外观、力学等功能，因而对靶材质量的评判较为严厉，首要应满足以下要求：杂质及氧含量低、纯度高;致密度高;成分与组织结构均匀;晶粒尺度细微。
2.3 劣质靶材缺陷
a)和b)为熔炼铬靶烧蚀后靶面情况
c)靶面有凹痕为引弧针装置不当导致的
d)水晶镀膜靶材密度不够，烧蚀后差异
e)等离子喷涂氧化钛旋转管靶不良
3 介绍几款常用靶材的使用
3.1 装修、工模具钛铝靶使用
高钛低铝：50/50at% 70Ti/30at% 80Ti/20at%
高铝低钛：67AL/33at% 75AI/25wt% 80AL/20 wt%
3.2 钛铝靶材使用
铸造法制做钛铝合金靶材无法避免疏松和缩孔，大尺度钛铝铸管和铸锭不能保证制成旋转管靶时到达密封和防水效果，并且跟着管壁的刻蚀，壁厚变薄，疏松和缩孔只需有一个孔连通，密封性会变的更加糟糕，轻者渗漏，靶管起辉放电，或大量杂气掺于反响不是掉膜便是起彩色彩不对。严重者直接从疏孔向真空室射水，污染真孔腔和真空机组。粉末冶金工艺制做钛铝靶材没有疏松和缩孔的问题，但从粉末冶金微观来看也是多孔资料，所以要想制做钛铝旋转管靶，对资料致密性要求很严，密度必需>98%以上。但符合密度要求也不代表能够运用。如果钛铝锭的含氧量很高并且微观结构不合理，钛铝锭内应力大，简单崩,也是不能做旋转管靶的，所以在粉末制做和粒度配比上有许多条件要求。既使满足这些条件,粉末冶金钛铝环还需绑锭在不锈钢管或钛管上，因为钛铝热胀大系数很大，在溅射时部分靶材胀大或许到达0.5-1MM，所以现在传统绑锭方式不能有效处理这个问题。出现钛铝绑锭分离,靶面热能无法传导而爆裂的现象。致于所谓紧配绑锭和等离子喷涂钛铝合金靶那都是没有含义的处理方案，不能运用。等级低挂钟手饰没有薄膜厚度和光泽度要求。大多选用电弧钛铝靶堆积TiAlN。高档品牌表要求厚度到达1 咪以上，且光泽度不能下降。电弧受液滴影响在光洁厚膜方面没有优势。现在比较好的方式是选用旋转管靶堆积TiAlN，不只色彩更挨近玫瑰金并且厚度添加后光泽度也不受影响。
3.3 SVC 系列硅合金靶
首要是堆积超硬膜方面的靶材，近年挂钟，手机在这方面有要求：如黑色防指纹超硬膜，不锈钢机壳加硬，仿金色超硬膜等。这一含硅系列靶材在镀膜时是多种化合物共堆积的薄膜，如铬硅靶在制做IP 黑薄膜时通入反响气体C2H2 铬离子与C 元素反响堆积生成黑色碳化铬(CrC)一起硅(Si)又与C 反响生成SiC。这种金属碳化物陶瓷与碳化硅替换堆积和咬合的薄膜不只提高了硬度，并且还坚持了碳化硅外表磨擦系数很低的特性。更有Z新证据证明铬硅靶，钛硅靶反响生成的Ti/Cr/TiAlC/SiC 结构薄膜是DLC Z好的过渡连结层，能够在Ti/Cr/TiAlC/SiC 上成长DLC 厚膜，这是十分有含义的事。镀膜权威专家袁镇海教授指出具有微观菱形氮化硅包裹氮化钛铝的PLAITING 镀层，有或许选用的便是硅铝靶和钛靶，或许钛铝硅靶堆积的薄膜。
3.4 水晶镀膜系列靶材
水晶饰品，灯饰等镀膜量这几年添加很快，首要会集在中山古镇和义乌浦江为主。古镇是以灯饰水晶镀膜为主有大小企业几十家。浙江义乌以水晶饰品为主。大多选用汇成真空电弧加磁控镀膜设备。首要有干邑色，琥珀色，酒赤色，AB 彩，玫赤色，金黄色，墨绿色，猪肝色等。水晶镀膜琥珀色，酒赤色靶材是深圳矽谷公司铁基合金专利靶材。主推是旋转管靶和平面靶，电弧靶因为蒸发量大，色彩不如旋转靶好，商场低端也可接受，高端镀膜由江门唐人张镀膜厂为代表，产质量量安稳，外观色彩均匀靓丽，该公司选用的便是大型平面靶。因为水晶镀膜厂大多是一台机或两台机的小厂，在镀膜技能上还比较薄弱，特别是对前处理清洗没有概念，所以经常出现掉膜或退色现象。传统挂钟首饰清洗办法中并不适用水晶镀膜清洗。
3.4.1 水晶镀膜工艺事例清洗参阅
• 用不锈钢方网装入水晶吊坠;• 80-90℃超声波低浓度除油水5-10 分钟(1KG/100L 纯水)首要意图是除油和油性物质污染;
• 过纯水;
• 40-50℃超声波低浓度酸洗(盐酸2L/100L 纯水)首要意图是去除外表发霉长毛及朦白污染物);
• 过纯水;
• 过双氧水和氟化氢氨稀释水(0.5L 双氧水/50g 氟化氢氨/100L 水)(首要是外表活化，添加薄膜与水晶结合力);
• 多缸活水漂洗;
• 挂架烘烤100-130℃;
• 进炉。
3.4.2 水晶镀膜工艺事例参阅
• 抽真空致优于1.0×10﹣2 Pa ;
• 通入氩气真空度3.0×100 Pa ;
• 偏压-300~-500V(辉光清洗)5 分钟;
• 康复真空;
• 调整好转架转速;
• 通入氩气和氧气(1:2)真空度7.0×10﹣1Pa 待真空安稳后一起打开所有电弧(100～140A)60~90 秒;
• 关闭弧源，气体结束镀膜。
• 出炉。
3.4.3 水晶镀膜薄膜退除药水配方
药水配方 操作条件
琥珀色、酒赤色、干邑色 3L 盐酸/10L 纯水 浸泡AB 彩、猪肝色、枪色 20g 氢氧化钾/50L 双氧水 浸泡铬枪黑色 50KG 高猛酸钾/50L 水 温度80℃-90℃浸泡
3.5 国内外钛铝靶材制作商生产能力
3.6 进口与国产ITO 靶材比较3.7 ITO 靶材商场使用情况
全球2005 年需求563t，2007 年869t，2009 年1300t，2010 年1445t，2012 年将近2000t，每年以均匀15%的添加率递增。其中日本日矿资料公司占商场50%，日本三井矿业占25%，东曹占15%，三星科宁占10%，国内靶材公司占有数额简直能够忽略不计。
4 靶材EDS
国外靶材生产公司占有了高端商场，国内靶材公司产品大多会集在装修和工模具及大面积镀膜职业;我国是产铟大国，每年国内ITO 靶材需求约1000 亿人民币，而咱们国内靶材公司连5%都做不到，存在很大的距离。究竟是设备原因?仍是工业技能落后?或许是咱们理论上面的缺失?怎么制作高端靶材占有国内商场?未来方向是什么?广大科研工作者和靶材公司要尽力改动现状。
检测办法及薄膜XPS 检测以Cr--Si 靶材为例，是从靶块切下一小块样品，图1 是样品的扫瞄电镜外表形貌。玫瑰金镀层成分随深度变化的XPS 试验办法与成果：本节样品是镀玫瑰金的表壳。
