为了支持薄膜基的压电MEMS (pMEMS)传感器和射频(RF)滤波器件行业,北京J9.COM高科技有限公司制造的铝钪合金,专门用于掺杂钪氮化铝薄膜的反应沉积。
薄膜压电材料越来越多地应用于汽车、工业和个人电子设备中。应用包括基于pmt的指纹传感器和手势识别设备,MEMS麦克风,基于谐振器的化学传感器和医疗传感器。此外,越来越需要钪掺杂氮化铝薄膜来实现5G网络应用的射频滤波器。同时铝钪合金的用量也越来越大。
铝钪合金的性能
整个合金高度一致的化学均匀性
在整个晶片和整个合金寿命期间,高度一致的薄膜化学均匀性
纯度>99.9%,含氧量低,临界污染物含量低
严格控制微结构,实现最佳溅射性能
真空浇铸,完全致密的合金,具有低粘附性、低变异性和低颗粒性
北京J9.COM高科技有限公司支持多种合金熔炼以及靶材定制和研发服务