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关于靶材作用和用途的介绍

时间:2022-08-08 作者:北京J9.COM 点击:1483次

  关于靶材这个产品,现在应用市场越来越广,但是还是有一部分用户对靶材的作用和用途不是很了解,下面就让北京J9.COM的技术部专家对靶材的作用和用途做一个详细的介绍,

靶材,靶材的作用,靶材的用途

  1、微电子领域

  在所有应用产业中,半导体产业对靶材溅射薄膜的品质要求是最苛刻的。现在12英寸(300衄口)的硅晶片已制造出来.而互连线的宽度却在减小。硅片制造商对靶材的要求是大尺寸、高纯度、低偏析和细晶粒,这就要求所制造的靶材具有更好的微观结构。

  2、显示器用

  平面显示器(FPD)这些年来大幅冲击以阴极射线管(CRT)为主的电脑显示器及电视机市场,亦将带动ITO靶材的技术与市场需求。现在的iTO靶材有两种.一种是采用纳米状态的氧化铟和氧化锡粉混合后烧结,一种是采用铟锡合金靶材。

  3、存储用

  在储存技术方面,高密度、大容量硬盘的发展,需要大量的巨磁阻薄膜材料,CoF~Cu多层复合膜是现在应用广泛的巨磁阻薄膜结构。磁光盘需要的TbFeCo合金靶材还在进一步发展,用它制造的磁光盘具有存储容量大,寿命长,可反复无接触擦写的特点。

  靶材的发展:

  各种类型的溅射薄膜材料在半导体集成电路(VLSI)、光碟、平面显示器以及工件的表面涂层等方面都得到了广泛的应用。20世纪90年代以来,溅射靶材及溅射技术的同步发展,极大地满足了各种新型电子元器件发展的需求。