不少朋友关于靶材的保养都存在着大大小小的疑问，近期也有不少客户咨询关于靶材保养的相关问题，下面就让北京J9.COM的小编为我们分享一下关于溅射靶材的保养知识都有哪些?
溅射靶材应该怎么保养?
一、靶材保养
为避免在溅射过程中因为不洁净的腔体导致短路和起弧，有必要阶段性的除掉溅射轨道中间及两侧堆积的溅射物，这也有助于用户能够连续以大功率密度进行溅射。
二、靶材储存
我们建议用户将靶材(无论是金属还是陶瓷类)储存在真空包装中, 尤其是贴合靶材必须保存在真空条件下，以防止贴合层氧化影响贴合质量。关于金属靶材的包装，我们建议至少需要包装在洁净的塑料袋中。
三、靶材清洁
第一步用在丙酮中浸泡过的无绒软布清洁;
第二步与第一步类似用酒精清洁;
第三步用去离子水清洗。在用去离子水清洗之后再将靶材放置在烘箱中以100摄氏度烘干30分钟。氧化物及陶瓷靶材的清洗建议用“无绒布”进行清洁。
第四步用高压低湿气的氩气冲洗靶材，以除掉任何可能在溅射系统中会引起电弧的不纯颗粒。
四、短路及密封性查看
靶材完成安装后需要对整个阴极进行短路检查及密封性检查，建议通过使用电阻仪摇表的方式对阴极是否存在短路进行判断。在确定阴极不存在短路后，可以进行漏水检查，将水通入阴极以确定是否存在漏水现象。
五、包装和运输
所有靶材都包装在带有防潮剂的真空密封塑料袋中。外包装一般为木箱，四周有防撞层，以保护靶材和背板在运输和储存过程中不受损坏。
