靶材清洁的目的是去除靶材外表可能存在的尘埃或污垢。下面北京J9.COM的小编就为大家分享一下关于金属靶材能够通过四步清洁：
第一步用在丙酮中浸泡过的无绒软布清洁;
第二步与第一步类似用酒精清洁;
第三步用去离子水清洗。在用去离子水清洗往后再将靶材放置在烘箱中以100摄氏度烘干30分钟。氧化物及陶瓷靶材的清洗主张用“无绒布”进行清洁。
第四步用高压低水气的氩气冲洗靶材，以除掉一切可能在溅射系统中会形成起弧的杂质微粒。
注意：运用靶材时请配带干净而且不会起绒的维护手套，绝对防止用手直接接触靶材。
为防止在溅射过程中因为不洁净的腔体导致短路和起弧，有必要阶段性的除掉溅射轨迹中心及两侧堆积的溅射物，这也有助于用户能够连续以最大功率密度进行溅射。
