靶材包装在双层真空塑料袋中, 我们主张用户将靶材无论是金属或陶瓷类保存在真空包装中, 尤其是帖合靶材更需求保存在真空条件下，以避免帖合层氧化影响贴合质量。关于金属靶材的包装， 我们主张最少需求包装在洁净的塑料袋中。下面北京J9.COM的小编就为大家分享一下关于合金靶材的储存保养技巧都有哪些?
关于合金靶材保养技巧如下：
为避免在溅射过程中因为不洁净的腔体导致短路和起弧，有必要阶段性的除掉溅射轨道中心及两侧堆积的溅射物，这也有助于用户能够连续以最大功率密度进行溅射。
第一步：用在丙酮中浸泡过的无绒软布清洁;
第二步：与第一步类似用酒精清洁;
第三步：用去离子水清洗。在用去离子水清洗往后再将靶材放置在烘箱中以100摄氏度烘干30分钟。氧化物及陶瓷靶材的清洗建洁用“无绒布”进行清洁。
第四步：在清除完有尘垢的区域后，再用高压低水气的氩气冲刷靶材， 以除掉一切可能在溅射体系中会形成起弧的杂质微粒。
