目前全世界各大溅镀靶材制造厂中，关于铝合金溅镀靶的制造都选用两种不同办法，一种是选用铸造法制造铸锭，再进行铸造进程制造的;另一种是以喷覆成型办法制造的。下面就让北京J9.COM的小编为大家分享一下，关于钛铝合金靶材的制造工艺都有哪些常识详解都有哪些?
就已知的铸造/铸造办法而言，在制造铝合金溅镀靶材时，常因添加合金元素而使铝合金溅镀靶材发生偏析现象，进而使得溅镀所得的薄膜质量较差，且溅镀靶外表易发生微颗粒，亦会影响薄膜性质的均匀性;而若运用已知的喷覆成型办法制造铝合金溅镀靶材时，尽管可以防止上述相关缺陷，但将使溅镀靶制造本钱大幅进步，尤其是在制造一些不易以铸造办法而必须选用热均压的溅镀靶时，其本钱更将因运用热均压而进步。
为了使钛铝合金靶材的制造进程更简易，本钱更低，在这儿介绍一种以气喷粉末制造铝合金溅镀靶材的办法，其原理是指一种以气喷法依合金成分配比制造溅镀靶材的质料粉末，再将该合金粉末予以筛分，得到恰当的粉末粒径，最终以此粉末进行真空热压成形以制成铝合金溅镀靶材。
这种以气喷粉末制造铝合金溅镀靶材的办法，关于制造各种不同的铝合金溅镀靶材(铝-铬、铝-硅-铜、铝-钛等等)皆可使用，其较佳实施步骤是：供给制造铝合金溅镀靶材的金属质料并熔融成金属熔液;接着，以气喷法将该金属熔液制成金属粉末;最终，以真空热压将该金属粉末成形，制成铝合金溅镀靶材，并通入惰性气体作为维护气体。这个办法可以防止发生资料偏析和微颗粒的缺陷，且更快速且便宜的制造高质量的溅镀靶材。
