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磁控溅射靶材种类介绍知识有哪些

时间:2022-05-26 作者:北京J9.COM 点击:1174次

  现在社会上越来越多的用户都了解了靶材的种类以及靶材的用途,如果是细分的话,可能不会清楚的区分具体的靶材类型,现在就让北京J9.COM的小编来和大家一起分享一下关于磁控溅射靶材的类型介绍!

靶材,溅射靶材,铬铝硅靶材

  溅射靶材:金属溅射镀膜靶材,合金溅射镀膜靶材,陶瓷溅射镀膜靶材,硼化物陶瓷溅射靶材,碳化物陶瓷溅射靶材,氟化物陶瓷溅射靶材 ,氮化物陶瓷溅射靶材 ,氧化物陶瓷靶材,硒化物陶瓷溅射靶材 ,硅化物陶瓷溅射靶材 ,硫化物陶瓷溅射靶材 ,碲化物陶瓷溅射靶材 ,其他陶瓷靶材,掺铬一氧化硅陶瓷靶材(Cr-SiO),磷化铟靶材(InP),砷化铅靶材(PbAs),砷化铟靶材(InAs)。

  磁控溅射一般分为二种:直流溅射和射频溅射,其中直流溅射设备原理简略,在溅射金属时,其速率也快。而射频溅射的使用范围更为广泛,除可溅射导电资料外,也可溅射非导电的资料,溅射靶材一起还司进行反应溅射制备氧化物、氮化物和碳化物等化合物资料。若射频的频率提高后就成为微波等离子体溅射,目前常用的有电子回旋共振(ECR)型微波等离子体溅射。